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昆山彰盛奈米-聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构

2018年05月02日 点击:
摘要:本实用新型公开了一种聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构,其特征在于:所述沉积装置由沉积滚筒、沉积架、沉积笼三部分组成,沉积笼固定于沉积架后置于沉积滚筒内。其中沉积架为圆柱形框架,在圆柱形沉积架上下底面之间均匀设置有至少四个沉积笼,安装时平行于圆柱形沉积架高度方向。本实用新型解决了现有技术中沉积装置沉积效率低,电机设备容易损坏,产品厚度均匀性不一致,产品成膜品质较差和产量偏低的问题。提供了一种结构简单,使用方便,可大大提高滚筒内产品沉积效率,有效地保护电机设备,同时增加空间利用率从而提高产量,并解决了产品厚度均匀性不一致,产品成膜品质较差等问题的聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构。
申请人: 昆山彰盛奈米科技有限公司
地址: 215331 江苏省昆山市金阳东路8号
发明(设计)人: 徐志淮
主分类号: C23C16/448(2006.01)I
分类号: C23C16/448(2006.01)I
  • 法律状态

2012-07-25 授权

注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

  • 其他信息

主权项 一种聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构,包括沉积架和沉积滚筒,其特征在于:所述沉积架为圆柱形框架,在圆柱形沉积架上下底面之间横向均匀设置有至少四个沉积笼,所述沉积笼由若干个冲孔网板依次拼接组成,沉积架置于沉积滚筒内。

公开号 202347095U

公开日 2012-07-25

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